تعتمد معايير التدقيق الداخلي على نوعين رئيسيين: معايير الخصائص التي تركز على صفات الأفراد والمؤسسات، مثل المسؤولية المهنية والنزاهة، ومعايير الأداء التي تحرص على تتبع مهارات المدققين الداخليين وتطورهم المهني من خلال دورات تدريبية.
تُقسم معايير التدقيق الداخلي إلى معيار “المسؤولية” الذي يفحص مسؤوليات الأفراد ومهاراتهم، ومعيار “الاحترافية” الذي يشمل كفاءة الموظفين وعملهم بمهنية عالية، إضافة إلى معيار “القيام بالعمل بكفاءة” والذي يتأكد من امتلاك المدققين الداخليين للمهارات اللازمة للتنفيذ الصحيح لعملياتهم. كما يوجد معيار “التطور المهني” الذي يهدف إلى متابعة تطور الأفراد في مجال عملهم عبر الدورات التدريبية.